Minggu, 05 April 2015

Depoisisi Vakum Kimia (CVD)

Cara deposisi kimiajuga digunakan seperti (CVD) dan metode polimerasi. Metode CVD menyebabkan reksi kimia dari gas dan mengendapkannya ke subsierat. Reaksi kimia yang terjadi di bawah beberapa kondisi seperti suhu rendah, suhu tinggi, tekanan atmosfir, temperature tinggi serta tekanan CVD digunakan untukmembuat serat optic dan digunkan untuk membuat pandu gelombang bersubstrat gelas. Laju pengendapan rendah. Dilain pihak untuk temperature rendah dan tekanan rendah RF plasma eksitasi CVD dugunakan pembentukan Si3N4 Film dari Si dan akan digunakan terus untuk fabrikasi pandu gelombang.
Polimerasi
Polimerasi diginakan untuk pembentukan lapisan film tipis polymer organic. Pertama monomer dideposikan ke substrat di dalam vakum kemudian dipolimerisasi dengan pemanasan, loncatan electron, chy UV atau plasma selama deposisi. Plasma polimerisasi addalah salah satu contoh plasma CUD dimana proses kimianya tidak mudah dan perlu control ketelitian yang tinggi.
Difusi Termal
Film dibuat di atas substrat dipanaskan di dalam beberapa waktu. Dan bahan film akan berfumgsi ke substrat akan membentuk lapisan tipis secara berindex bias. Bahan yang terjadi berindeks bias graded index bahan stop index. Metode ini  disebut metode indifusi dan untuk pembuatan difusi Ti-LiNbO3 biasanya digunkan metode ini.
Metode out diffusion dengan mendefusikan bahan dari dalam substrat (seperti Li2O dari LiNbO3 untuk dibuat pandu gelombang). Metode lain yaitu metode difusi bantuan medan listrik dimana difusi yang terjadi pada suhu rendah dengan bantuan medan listrik selama indifusi. Metode ini digunakan apabila material tidak tahan dipanaskan.
Pertukaran Ion
Substrat dibuat larutan dan ion dari substrat dipertukarkan dengan ion dari pelarut. Dimana akan terbentuk indeks bias relative yang lebih tinggi di bawah permukaan.
Sehibgga contoh pandu gelombanggelas dibuat dengan cara menukarkan ion Na+ di dalam glass untuk Ag+, K+, Dan Ti+ dan bentukpandu gelombang LiNbO3 dibuat dengan cara menukarkan ion La+ untuk H+ di dalam asam benzoate. Di dalam kasus tertentu medan elektronik digunakan untuk mempercepat proses pertukaran ion.
Sumber : Buku Optika Terpadu Karangan Agus Rubiyanto dan Ali Yunus Rohedi


0 komentar:

Posting Komentar

By :
Free Blog Templates