Minggu, 05 April 2015

Metode CVD

Metode ini digunakan untuk mereduksi massa dari serat optic serta menurunkan loss daya pasir kuarsa sebagai substrat ditempatkan di CVD container reaksion, diikuti dengan aliran O2 sebagai gas pembawa seperti juga SiSl4. Butiran halus dari glass dengan komposisi SiO2- B2O3-GeO2 didepositkan disubstrat dengan reaksi oksidasi. Akhirnya pandu gelombang transparan didapatkan. Lapisan cladding didepositkan dengan cara yang sama seperti yang dideskripsikan sebelumnya ketika gas GeCl4 direduksi.
Pandu gelombang lapisan tipis kalsogenik amorfus
A.   Bahan
Pandu gelombang kalsogenik amorpus memiliki beberapa keuntungan antara lain :
Proses fabrikasi yang mudah untuk area yang luas lapisan tipis
1)    Ada hubungan antara refractive index dengan ratio komposisi
2)    Loss transmisi  yang kecil di daerah alat inframerah
3)    Substrat bisa menggunakan berbagai material yang berindeks bias tinggi
4)    Gambaran akustooptik yang besar
5)    Indeks bias refractive mudah berubah dengan irradiasi cahaya / electron.
Material juga bisa digunakan untuk komponen optika terpadu lainnya. Kalsogenik mempunyai komposisi kalsogen (S, Se,Te) termasuk berbagai sistem material tetapi hanya As-S/As-Se-Ge yang gapnya bisa digunakan untuk pandu gelombang ini bisa bekerja secara efektif padadaerah alat infrared. Tetapi pandu gelombang  As-S bisa memandu laser. He-Ne (λ= 0,533 μm). Tetapi kerusakan optic yang membatasiaplikasi pandu gelombang jenis lain akan mengalami loss daya transmisi didaerah visible.
B.   Fabrikasi
Pandu gelombang bisa diproduksi dengan cara vakum evaporasi atau teknik lapisan tipis RF sputtering. Dengan ketebalan film antara 1-2 μm diperoleh pandu gelombang dengan rugi-rugi yang rendah.sebagai bahan target adalah kalsogenik yang mudah meleleh dan terbentuk dari bahan dasar pasir kuarsa.semua komponen target sudah adadipasaran Gelas termasuk pasir kuarsa dan pyrex dapat digunakan sebagai substrat untuk membuat divais akustooptik atau elektrooptik. Lapisan film Calgonik juga dapat digunakan sebagai kover pada pandu gelombang Ti: LiNbO3.
Lapisan film dievaporasi dengan pemanasan menggunakan cawan terbuat dari Ta, Mo atau Wolfram pada tekanan 10-3 Pa. kecepatan deposisi diatur pada daerah 1 s/d 50 Å/s. ketebalan film dapat diukur selama proses evapolari denagn menggunakan laser He-Ne yang diberikan tegak lurus pada film, sehingga mendapatkan kontras intensitas maksimum dan minimum dengan periode ΔT = λ/2 (~0,13 μm). Untuk mendapatkan hasil yang baik temperature proses evaporasi terletak pada 150ᵒC sebelum evaporasi dan pada saat  evaporasi suhunya diatur 50ᵒC.

Sumber : Buku Optika Terpadu Karangan Agus Rubiyanto dan Ali Yunus Rohedi


0 komentar:

Posting Komentar

By :
Free Blog Templates